解決方案
SOLUTION
晶圓搬運機器人
晶圓傳送裝置里，最常見的裝置為機械傳送臂，此機械結(jié)構(gòu)能快速準確地將晶圓在傳送室和處理室之間完成抓取和放置。 對比傳統(tǒng)的機械傳動方式，諧波傳動技術(shù)在晶圓機械傳送臂中，利用柔輪在工作中不斷變形的特點，可以實現(xiàn)更大范圍的傳動比變化，但這種特點由于轉(zhuǎn)動慣量大，導(dǎo)致啟動的力矩也變大，經(jīng)常產(chǎn)生額外的能量損耗和熱損失，同時機械臂末端的精度也容易受到影響。 對晶圓搬運機器人來說，機械臂的末端精度將決定其精準的操控能力，確保晶圓在搬運過程不受損傷和污染，避免碰撞和傾倒，因此機械臂的末端精度極為重要。
方案優(yōu)勢
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技術(shù)
無需其他傳動結(jié)構(gòu)，安裝簡單，維護方便，且擁有高機械精度和高定位精度的特性
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降本
滿足技術(shù)指標(biāo)的同時，較于日系 品牌客戶可節(jié)省成本30%+
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貨期
降本的同時貨期更快
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服務(wù)
快速高效響應(yīng)服務(wù) 省內(nèi)24小時，省外48小時
應(yīng)用方案
晶圓搬運機器人
針對諧波傳動的不足，漢驅(qū)智能直驅(qū)運動控制專家將自主研發(fā)的DDR馬達QR120-064和QR118-110，分別用于兩個機械臂和機器人整體的旋轉(zhuǎn)上，兩款電機采用單圈絕對值編碼器，上電后無需回零，避免兩個機械臂干涉，憑借經(jīng)濟、高效、高速、靜音、精準、節(jié)能等特性，成功替換諧波結(jié)構(gòu)，幫助客戶在生產(chǎn)效率、成品質(zhì)量上實現(xiàn)質(zhì)的有效提升。
漢驅(qū)智能DDR馬達適用性
經(jīng)濟、高效、高速、靜音、精準、節(jié)能
通過采用漢驅(qū)智能直驅(qū)運動控制解決方案對晶圓搬運機器人的優(yōu)化，設(shè)備叉取晶圓片機械臂末端的精度可達±0.05mm內(nèi)，且回轉(zhuǎn)半徑小，在精準感知晶圓位置進行搬運操作的同時，能大幅提升空間使用率。 由于沒有齒輪減速機的中間傳動結(jié)構(gòu)，DDR馬達的使用完美地減少了使用諧波傳動結(jié)構(gòu)所產(chǎn)生大振動和機械噪音，電機具有更強地起步能力地同時，能量損失也能減少，從而提高生產(chǎn)效率。 另外，漢驅(qū)智能產(chǎn)出的 DDR馬達憑借國產(chǎn)自主可控技術(shù)，能夠保持絕對的成本價優(yōu)勢，解決了目前國內(nèi)諧波傳動結(jié)構(gòu)仍需依賴高價進口的問題。
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